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電子元器件&半導體芯片用UVLED 光源(4寸/6寸/8寸/12寸UVLED光源)
一、電子元器件/半導體芯片光源特點：
*波長365nm/385nm/395nm/405nm。
*光源平行半角1.5°~3°可選，光偏角<0.5°，可滿足高解析度曝光需求；
*光源面積：4寸/6寸/8寸/12寸
二、產品主要技術參數：
1.5°~3°可選
| 序號 | 指標參數 | 目前水平 |
| 1 | 光源波段 | 365/385/395/405nm （可選單波，混波） |
| 2 | 產品用途 | 電子元器件，半導體芯片等 |
| 3 | 平行半角 | 0.5°~3°（可選） |
| 4 | 光照面積 | 100*100mm~300mm*300mm |
| 5 | 不均勻性 | <4% |
三、光源使用方向
現廣泛應用于晶體管、二極管、電阻、電容、電感、可控硅、肖特基等器件生產的核心曝光工藝環節。
